진공 챔버용 적외선 히터

진공 챔버의 과열을 막으세요 만약 진공 챔버 내에서 웨이퍼나 기판을 가열해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 가장 큰 문제는 바로 “열 축적”입니다. 일반적인 적외선 램프는 에너지를 사방으로 방출하는 구조입니다. 반도체 제조 환경에서는 이것이 문제가 됩니...