진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

더 이상 웨이퍼가 가열될 때까지 기다리지 마세요. 반도체 정밀 가공에 종사해본 사람이라면, 강제 대류식 가열 방식의 단점을 잘 알고 있을 것입니다. 속도가 너무 느립니다. 그냥 그 자리에 앉아서 공기가 뜨거워지기를 기다리고, 그 열이 웨이퍼에 전달되기를 기다려야 합니...