화학 웨이퍼를 가열할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 적외선 램프를 화학 세척 용액 위에 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 실제로, 주변에는 휘발성 기체들이 있으며, 단 한 번의 스파크나 표면 온도가 일정 수준 이상으로 상승하면 큰 문제가 생길...

MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 MEMS 센서 제조에 관심이 있는 분들이라면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 건조시키면서도 잔여물이 남지 않도록 하고, 열應力로 인해 웨이퍼가 변형되는 것을 막는 것은 정말 어려운 일입니다. 대부분의 사람...

반도체 공장에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선 가열이 효과적인가 반도체 공장에서 진정으로 탄소 중립 목표를 달성하려면 에너지 낭비를 줄여야 합니다. 그중에서도 가장 큰 문제는 웨이퍼를 가열하는 방식입니다. 기존의 저항식 가열기들은 사실상 전체 장비를 가열하는 용도로...

소개 이 웨이퍼 건조용 램프는 신뢰할 수 있는 도구로서 제작되었습니다. 포장 및 테스트 공정이 최대 부하 상태일 때에도 안정적으로 작동하는 것이 특징입니다. 이것은 일반적인 히터와는 다릅니다. 이는 생산 라인용으로 설계된 장비로, 꾸준하고 강력한 열을 공급하여 웨이퍼...

제조 공장에서는 잘 알려진 사실이지만, 베이킹 온도가 0.1°C만 변동해도 포토레지스트의 품질이 나빠져서 폐기되는 경우가 있습니다. 그래서 우리는 열 관리, 반복성, 입자 제어가 생산성에 결정적인 역할을 하는 상황들을 위해 이러한 웨이퍼 건조기를 개발했습니다. 기술적...

공정 현장에서의 손실 최소화 공정 현장에서는 작은 실수로 큰 손실을 초래할 수 있습니다. 청소 후의 희미한 물자국, 평탄하지 않은 베이크 프로파일 - 하나의 문제로 전체 태양전지 웨이퍼 배치가 엉망이 될 수 있습니다. 전통적인 건조 램프는 드리프트 현상이 발생하기 쉬...

라인 상에서 포토레지스트 베이크의 반복성은 기준점이며, 여유는 없다. 웨이퍼 전체에서 몇 도의 온도 변화만으로도 0.1 μm 라인 폭 오차가 발생하고, 이는 모든 리소그래피 층에서 누적된다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 웨이퍼 경화 램프용 리플렉터를 설계했다...