MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법
MEMS 센서 제조에 관심이 있는 분들이라면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 건조시키면서도 잔여물이 남지 않도록 하고, 열應力로 인해 웨이퍼가 변형되는 것을 막는 것은 정말 어려운 일입니다.
대부분의 사람들은 일반적인 대류식 히터를 사용하지만, 이 방식에는 문제가 있습니다. 이 히터들은 장비 내부의 벽면을 과도하게 가열시키는 경향이 있습니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 그 장비 안에 들어가야 하는 작업자들에게는 안전상의 위험도 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾았습니다. 바로 방향성 적외선 히터입니다.
실제 작동 원리
저항식 히터는 주변의 공기를 따뜻하게 만드는 반면, 적외선 히터는 전자기파를 직선으로 방출합니다. 우리는 이 히터를 웨이퍼에 직접 비춥니다. 그러면 에너지가 웨이퍼와 그 위에 있는 액체 잔여물에 직접 닿아 빠르게 증발합니다. 열이 특정 부분에만 집중되기 때문에, 장비의 벽면은 차가운 상태를 유지합니다. 그러니 전체 공간을 가열할 필요가 없으며, 실제로 열이 필요한 부분만을 가열하면 됩니다.
주의해야 할 점
하지만 이 방식도 그냥 사용할 수 있는 것은 아닙니다. MEMS에 적합한 열 밀도를 얻으려면 단파 석영 램프를 사용해야 합니다. 이 램프는 빠르게 열을 발생시켜 생산라인의 속도를 유지하는 데 도움이 됩니다.
하지만 램프와 웨이퍼 사이의 거리를 잘 조절해야 합니다. 너무 가깝게 두면 과열된 부분이 생겨 센서가 손상될 수 있습니다. 반대로 너무 멀리 두면 건조 시간이 길어집니다. 따라서 적절한 거리를 찾는 것이 중요합니다.
작업 환경 개선
가장 좋은 점은, 대류식 시스템에서 필요한 크고 무거운 절연재를 사용할 필요가 없다는 것입니다. 그 덕분에 작업 도구들이 바닥에 차지하는 공간도 훨씬 줄어듭니다.
또한, 기계를 시작할 때 오랫동안 기다릴 필요도 없습니다. 작업자들은 뜨거운 장비에 타지 않고도 빠르게 작업할 수 있습니다.
한 가지 팁을 드리자면, 전원 공급 장치가 램프의 최대 전력을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 과열되거나 손상될 수 있습니다.