MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 MEMS 센서 제조에 관심이 있는 분들이라면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 건조시키면서도 잔여물이 남지 않도록 하고, 열應力로 인해 웨이퍼가 변형되는 것을 막는 것은 정말 어려운 일입니다. 대부분의 사람...

왜 수소 센서 제작에 적외선 경화 방식을 사용하게 되었는가? 만약 여전히 기존의 대류식 오븐을 사용하여 반도체용 수소 센서를 제작한다면, 그건 마치 힘든 싸움을 하는 것과 같습니다. 우리는 그런 크고 무거운 장비를 사용하는 대신 적외선 경화 방식을 도입했습니다. 왜냐...

청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 적외선 히터의 제작 방식 솔직히 말해서, 클래스 100급 청정실을 운영할 때는 사양서만으로는 모든 것을 설명할 수 없습니다. 중요한 것은, 작동 중에 문제를 일으킬 수 있는 미세한 요소들을 피하는 것입니다. 예를 들어, 가스 방출, 유...