E빔 레지스트 베이킹 히터

리소그래피 공정 현장에서 E-beam 레지스트 베이킹은 단순한 예열이 아니다. 이는 크리티컬 디멘션 제어를 결정짓는 열적 이벤트다. 웨이퍼 전면에서 2°C의 온도 변동은 피처를 나노미터 단위로 이동시킬 수 있으며, 이 나노미터 단위 차이가 좋은 수율과 불량을 가른다....