급속 열처리(RTP) 램프

공정 현장에서 300mm 웨이퍼가 열 서명을 조정받기를 기다리고 있습니다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크 프로파일에서 발생하는 작은 오류 하나로 인해 포토레지스트 라인폭이 변동하기 시작합니다. 에칭 챔버가 웨이퍼를 보기 전에 수율을 잃고 있습니다. 우리는 이러한 드...