PVD(물리적 기상 증착) 램프

PVD 공정에서는 점점 더 엄격한 품질 기준이 요구되고 있습니다. 매 분기마다 마치 조금씩 성능이 떨어지는 것 같습니다. 단 한 번의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 건조 과정에 문제가 생길 수 있으며, 그 결과 패턴의 일관성과 선의 굵기에도 변동이 생깁니다. 우리는...