PVD 공정에서는 점점 더 엄격한 품질 기준이 요구되고 있습니다. 매 분기마다 마치 조금씩 성능이 떨어지는 것 같습니다. 단 한 번의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 건조 과정에 문제가 생길 수 있으며, 그 결과 패턴의 일관성과 선의 굵기에도 변동이 생깁니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 PVD 램프를 설계했습니다. 이 램프들은 작업 단계마다, 사이클마다 일정한 온도를 유지해 줍니다.
실제로 중요한 것은 무엇인가? 이 램프들은 석영 케이스를 사용하여 근적외선을 방출하므로, 온도 조절이 빠르고 안정적입니다. 웨이퍼 전체의 온도 일관성은 ±0.1°C 정도로, 이는 중요한 건조 공정에서 발생할 수 있는 문제들을 방지하는 데 충분합니다. 이 램프들은 클린룸 등급 1–100에 맞게 설계되었으며, 밀폐된 구조와 낮은 가스 방출량을 특징으로 합니다. 또한, 7×24시간 연속 가동이 가능하며, 5,000시간 이상의 작동 시에도 예기치 않은 고장이 없으며, 성능 변화도 5% 미만입니다.
PVD 공정에서는 일정한 기판 온도를 유지하는 것이 성공적인 공정을 위해 매우 중요합니다. 이 램프들은 매번 작동할 때마다 일정한 온도를 유지함으로써 선의 굵기 변동을 줄이고, 보다 일관된 필름 형성을 가능하게 합니다. 그 결과, 예측 가능한 공정 환경이 조성되고, 재작업이 줄어들며, 유지보수도 더 효율적으로 이루어집니다.
에너지 사용량도 최적화되어 있어, 작동 속도를 저하시키지 않으면서도 운영 비용을 줄일 수 있습니다.
설치 시 주의할 점 이 램프들은 표준 PVD 장비에 바로 설치될 수 있지만, 설치 시에는 챔버의 열교환 포트 및 냉각 경로와의 정렬 여부를 반드시 확인해야 합니다. PID 설정을 조정하는 데는 약간의 시간이 필요합니다. 일단 설정이 완료되면, 성능이 안정되어 유지보수 간격도 길어집니다. 따라서 가동 시간이 늘어나고, 관리 부담도 줄어듭니다.