웨이퍼를 가열하는 대신 기계 자체를 가열하는 것을 그만두세요. 대부분의 적외선 히터는 다소 지저분합니다. 열이 모든 방향으로 퍼져나가기 때문입니다. 반도체 장비의 좁은 공간에서 작업할 때 이는 큰 문제가 됩니다. 장비의 내벽들이 그 열을 흡수하게 되고, 결국 장비의...

반도체 제조 공장에서는 열이 제대로 흐르지 않는 것이 큰 문제가 됩니다. 만약 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 그 문제를 이미 경험했을 것입니다. 에너지가 사방으로 퍼져나가기 때문이죠. 그렇게 발생하는 ‘폐열’ 중 상당 부분이 장비의 내부 벽에 직접 닿습니다. 결...

스마트 팩토리에서 적절한 온도 조절 방법 인더스트리 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축할 때는 더 이상 전체 공간을 가열하는 방식을 생각해서는 안 됩니다. 기존의 방식, 즉 거대한 공간을 가열하는 방식은 낭비일 뿐입니다. 결국 공기를 가열하는 데 비용만 들 뿐, 제품...

열과 화학물질이 만났을 때의 안전 유지 방법 만약 공장 내의 클린룸 장비를 업그레이드해야 한다면, 특히 화학적 세척 과정에서는 더욱 그렇습니다. 여기서는 인화성이 있는 증기와 액체들을 다루게 되는데, 이러한 물질들은 닿는 모든 것을 파괴할 수 있습니다. 이런 환경에서...

왜 쿼츠 유리가 IR 램프에 있어서 중요한가요? 스마트 공장에서는 열이 모든 것을 결정합니다. 하지만 단순히 물체를 뜨겁게 하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 정밀도도 매우 중요합니다. 적외선 시스템을 설치할 때, 쿼츠 유리 장벽은 사실상 중요한 역할을 합니다. 이...

파편으로부터 웨이퍼를 보호하기: 램프가 고장났을 때도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 고부하가 걸리는 공장에서 램프가 폭발하는 것은 단순한 번거로움이 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다. 쿼츠 소재의 램프가 파손되면, 유리 조각과 먼지들이 웨이퍼 위에 떨어집니다. 그러...

오븐을 버리고, 납이 없는 반도체를 처리하는 더 나은 방법 산업계는 ‘친환경적이고 납이 없는’ 기준을 추구하고 있습니다. 이러한 움직임은 어디서나 볼 수 있지만, 특히 건조 및 경화 과정에서 그 효과가 두드러집니다. 오랫동안 우리는 대형 대류식 오븐을 사용해왔습니다....

리소그래피 공정에서는 소프트 베이크 과정 중 1°C의 온도 변화만으로도 포토레지스트의 두께가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 이러한 온도 변화는 직접적으로 오버레이 오류로 나타납니다. 저희는 그러한 현실을 받아들여 대응하는 방식으로 히터를 설계했습니다. 중국에서...