연료전지 촉매 건조 램프

포토레지스트의 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서는 온도 변동을 감수할 수 없습니다. 한 곳만이라도 과열되면 촉매층이 변형됩니다. 반대로 한 곳이라도 오염된다면, 현상 과정에서 문제가 생깁니다. 그래서 연료전지용 촉매 건조 램프는 바닥에 설치되도록 만들어졌습니다....