웨이퍼를 가열하는 대신 기계 자체를 가열하는 것을 그만두세요.
대부분의 적외선 히터는 다소 지저분합니다. 열이 모든 방향으로 퍼져나가기 때문입니다. 반도체 장비의 좁은 공간에서 작업할 때 이는 큰 문제가 됩니다. 장비의 내벽들이 그 열을 흡수하게 되고, 결국 장비의 외부가 위험할 정도로 뜨거워집니다.
그래서 우리는 카본 파이버 IR 램프를 사용합니다. 열이 여기저기 퍼지는 대신, 필요한 곳, 즉 웨이퍼나 기판에 집중적으로 열을 전달합니다. 그렇게 하면 기계의 금속 부분을 가열할 필요가 없습니다.
실제 작동 방식
이건 마치 전구와 손전등의 차이와 같습니다. 기존의 석영 히터는 열을 사방으로 퍼뜨리지만, 카본 파이버 필라멘트는 그 에너지를 한곳에 집중시킬 수 있습니다. 따라서 열이 목표물에 정확히 도달하여 그곳에 머물게 됩니다. 이는 현장 작업자들에게 큰 도움이 됩니다. 왜냐하면 장비의 내벽이 시원하게 유지되므로 작업자들이 뜨거운 부분을 피하거나 손을 다칠 위험이 줄어들기 때문입니다.
단점 및 해결 방법
이러한 램프는 매우 강력하기 때문에 주의가 필요합니다. 열이 너무 집중되면 표면에 많은 스트레스가 가해집니다. 너무 많은 전력을 작은 영역에 집중시키면 기판에 과열이 발생할 수 있습니다. 따라서 램프의 길이와 전력 밀도를 신중하게 조절해야 합니다.
설치 방법
이 램프들은 기존 장비를 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 장비 전체를 분해할 필요가 없습니다. 배선도 간단합니다.
하지만 한 가지 팁이 있습니다. PID 컨트롤러를 확인해보세요. 카본 파이버는 기존의 세라믹 히터보다 훨씬 빠르게 반응하므로, 그 속도에 맞춰 설정을 조정해야 합니다.
또한, 시설 관리자에게도 좋은 점이 있습니다. 장비의 내벽이 거대한 열 흡수체 역할을 하지 않으므로, 냉각 수준도 그다지 높지 않아도 됩니다. 환경적인 온도가 안정적으로 유지되므로 냉각 장치도 휴식을 취할 수 있습니다.
이것은 에너지를 보다 효율적으로 사용하는 방법입니다. 전체적인 가열을 멈추고, 필요한 곳에만 열을 전달하는 것입니다.