화학 웨이퍼를 가열할 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 적외선 램프를 화학 세척 용액 위에 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 실제로, 주변에는 휘발성 기체들이 있으며, 단 한 번의 스파크나 표면 온도가 일정 수준 이상으로 상승하면 큰 문제가 생길 수 있습니다.
그렇기 때문에 우리는 그냥 램프를 그곳에 설치해두고 최선을 기대하는 것이 아닙니다. 우리는 이러한 위험한 상황에 대비하여 특수한 보호 장치를 갖춘 적외선 램프를 만듭니다.
안전 거리에 대한 진실
사람들이 “안전 거리”에 대해 언급할 때, 보통 물체들이 서로 닿지 않도록 하는 것만을 생각합니다. 하지만 진짜 문제는 열이 어떻게 전달되는지와 관련이 있습니다.
램프가 웨이퍼나 화학 물질의 표면에 너무 가까이 있으면, 과열된 부분이 생깁니다. 이는 좋지 않습니다. 우리는 램프의 초점을 매우 정확하게 설정하여, 가열 요소가 인화성 기체들로부터 충분히 멀리 떨어져 있도록 합니다. 그래야 웨이퍼에 필요한 온도를 정확하게 유지할 수 있습니다.
장비와 정신 건강을 보호하기
우리는 결코 석영관을 그대로 두지 않습니다. 그건 문제를 초래할 뿐입니다.
화학 물질에 의한 부식이나 전기적 문제로 인해 장비가 손상되는 것을 막기 위해, 우리는 보호 커버와 특수한 밀봉 장치를 사용합니다. 이는 램프의 고전압 부품들을 부식성 공기로부터 보호하는 역할을 합니다. 우리는 세척제의 영향에도 견딜 수 있는 재료를 사용합니다.
하지만 문제는 밀봉 장치가 자주 고장 난다는 점입니다. 밀봉 장치가 제대로 작동하지 않으면, 기체가 램프 내부로 들어가서 램프가 빠르게 손상됩니다. 이를 막기 위해 우리는 고온에도 견딜 수 있는 가스켓을 사용합니다.
타협점
물론, 이러한 보호 장치를 추가하면 적외선의 전달율이 약간 줄어듭니다. 일부 열은 웨이퍼에 도달하기 전에 보호 커버에 의해 흡수됩니다.
따라서 와트수를 선택할 때 이 점을 반드시 고려해야 합니다. 특정 시간 내에 웨이퍼의 온도를 높이고 싶다면, 보호 커버로 인한 손실을 보상하기 위해 전력을 높여야 할 수도 있습니다. 단, 전원 공급 장치가 추가된 부하를 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.