웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

웨이퍼의 온도를 추측하는 것은 그만두세요. 스마트 팹을 구축할 때 가장 먼저 해야 할 일은 접촉식 온도 센서를 사용하지 않는 것입니다. 이러한 센서들은 반응 속도가 너무 느립니다. 게다가 센서가 웨이퍼에 닿으면 웨이퍼가 오염될 위험이 있습니다. 그래서 우리는 고효율의...