Hoe je chemische wafers veilig kunt verhitten
Laten we eerlijk zijn: het gebruiken van infraroodlampen boven chemische reinigingsvloeistoffen is net alsof je met vuur speelt. Er zijn immers vluchtige dampen aanwezig, en het duurt maar even voordat er een vonk komt of dat een oppervlak te heet wordt. Dan heb je echt een groot probleem.
Daarom zetten we geen gewone lampen in die ruimte, in de hoop op het beste. We bouwen onze infraroodlampen met een speciale afsluiting die is ontworpen voor zulke risicovolle situaties.
De waarheid over de veiligheidsafstand
Als mensen het hebben over de ‘veiligheidsafstand’, bedoelen ze meestal dat alles niet in contact moet komen met elkaar. Maar het gaat meer om de manier waarop de warmte zich verspreidt.
Als je lamp te dicht bij de wafer of het chemische oppervlak staat, ontstaan er hete plekken. Dat is niet goed. We zorgen ervoor dat de lamp op een precieze afstand van die brandbare dampen staat. Op deze manier kan de lamp de juiste temperatuur bereiken op de wafer.
Het beschermen van de apparatuur (en je eigen gezondheid)
We laten de kwartsbuis nooit bloot. Dat leidt alleen maar tot problemen.
Om chemische corrosie en elektrische storingen te voorkomen, gebruiken we beschermende hulsels en speciale afsluitingen. Denk daarbij aan een soort schild dat de hoge spanningen van de lamp beschermt tegen de corrosieve lucht. We gebruiken materialen die bestand zijn tegen reinigingsmiddelen zonder dat ze beschadigen.
Maar hier is het probleem: vaak is het de afsluiting waar iets misgaat. Als de afsluiting faalt, dringen dampen de elektrische behuizing binnen en brandt de lamp snel door. Om dit te voorkomen, gebruiken we afsluitingen die bestand zijn tegen hoge temperaturen.
De trade-off
Er is echter een nadeel. Door het gebruik van een beschermende hulsel gaat er wat minder infraroodstraling doorheen. Een deel van de warmte wordt door de hulsel opgenomen voordat deze de wafer bereikt.
Je moet dit in gedachten houden bij het kiezen van de gewenste vermogenssterkte. Als je een bepaalde opwarmtijd wilt bereiken, moet je misschien de vermogenssterkte verhogen om dit te compenseren. Zorg er wel voor dat je stroomvoorziening het extra vermogen aankan, zodat de schakelaars niet doorslaan tijdens het gebruik.