لیتھوگرافی کے عمل میں، “سافٹ بیک” کے دوران 1 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی سطح پر نینومیٹر کی سطح پر تبدیلی لا سکتا ہے؛ اور یہ تبدیلی براہِ راست غلطیوں کی شکل میں ظاہر ہوتی ہے۔ ہم نے اپنے ہیٹرز کو اس حقیقت کے مطابق ڈیزائن کیا ہے، نہ کہ اس کے خلاف۔ چونکہ ہم چین میں ہیٹرز تیار کرنے والی کمپنی ہیں، لہذا ہم ایسے تھرمل ماڈیول فراہم کرتے ہیں جو ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رکھتے ہیں، تاکہ اہم ابعاد قابو میں رہیں۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم کوارٹز-ہیلوجن ایمیٹرز کے ذریعہ شارٹ-ویو انفراریڈ تکنالوجی استعمال کرتے ہیں۔ یہ ٹھنڈک تیزی سے پہنچتی ہے، اور کم وزن کی وجہ سے درجہ حرارت جلد ہی مستحکم ہو جاتا ہے۔ کلوزڈ-لوپ کنٹرول سسٹم، NIST معیارات کے مطابق کام کرتا ہے، جس سے درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جاتا ہے۔ تکراری عمل میں درجہ حرارت کی درستگی ±0.2 ڈگری سیلسیس ہے۔
کیوں یہ پروڈکشن میں کارآمد ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ – سافٹ بیک، ہارڈ بیک، اور پوسٹ-بیک – کے لئے مستحکم درجہ حرارت بہت اہم ہے۔ ہمارے ہیٹرز جلدی ہی درجہ حرارت کو مطلوبہ سطح پر لاتے ہیں، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو یکساں رکھتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں اہم ابعاد قابو میں رہتے ہیں، ورک وراؤنڈز کم ہوتے ہیں، اور پروڈکشن کی کارکردگی بہتر رہتی ہے۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں؟
چونکہ یہ سسٹم صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور جلدی ہی ٹھنڈا ہو جاتا ہے، لہذا توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کر سکتا ہے، اور غیرمتوقع رکنے کے واقعات کم ہوتے ہیں۔
کیا چیزیں درست رکھنے کی ضرورت ہے؟
انسٹالیشن کے دوران تھرمل انٹرفیس کو درست رکھنا ضروری ہے: چک کی سطح کی یکسانیت، کنٹیکٹ پریشر، اور ایمیشن۔ یہاں تک کہ چھوٹا سا ہوا کا فاصلہ بھی درجہ حرارت میں عدم یکسانیت کا سبب بن سکتا ہے۔
پروسیس کے مطابق درجہ حرارت کی سطح کو جاننے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ کریں، پھر کیلیبریشن کو مستحکم کریں۔ یہ یونٹ اسی صورت میں درست طریقے سے کام کرے گا، جب آپ میکانی انٹرفیس کو بھی تھرمل سسٹم کا حصہ سمجھیں، نہ کہ الگ چیز۔