晶圆处理设备用温度传感器

别再靠猜测来判断晶圆的温度了 如果你正在打造智能工厂，那么首先要做的就是摒弃使用接触式热电偶。因为它们的响应速度实在太慢了。此外，你肯定也不想因为传感器接触到晶圆而导致晶圆被污染。 因此，我们选择使用高效的红外传感器。这类传感器不会接触晶圆表面，能够实时监测温度，同时还能提供准确的数据，帮助你保持...