Di fasiliti pembuatan PVD ini, had masa yang diperlukan untuk proses PVD semakin sempit dari semasa ke semasa. Setiap suku tahun, nampaknya kita perlu mengurangkan lagi masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses tersebut. Sebarang perubahan suhu pada lampu PVD sahaja sudah cukup untuk mengganggu proses pengeringan bahan fotorezist. Akibatnya, terjadi variasi dalam ketebalan lapisan yang dihasilkan. Kami membina lampu PVD ini agar dapat memastikan kawalan suhu yang tepat, dari satu giliran ke giliran yang lain.
Apa yang sebenarnya penting di sebalik segalanya
Lampu PVD ini menggunakan cahaya inframerah panjang gelombang pendek, dan ia dilindungi oleh lapisan kuarsa. Ini membolehkan proses pemanasan berlaku dengan cepat, dan kawalan suhu juga lebih tepat. Di kawasan pengeringan, keseragaman suhu pada setiap wafer adalah sekitar ±0.1°C – cukup untuk melindungi kualiti wafer semasa proses pengeringan. Lampu ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan struktur yang tertutup dan tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Sistem termalnya boleh beroperasi 24/7, dan data operasi menunjukkan tiada kegagalan yang tidak dijangka selama lebih dari 5,000 jam, dengan variasi keluaran kurang dari 5%.
Dalam proses PVD, suhu permukaan bahan yang konsisten sangat penting untuk memastikan kualiti produk yang dihasilkan. Lampu PVD ini memastikan suhu tetap stabil setiap kali proses berlangsung, sekali gus mengurangkan variasi ketebalan lapisan yang dihasilkan. Ini seterusnya membantu meningkatkan kualiti lapisan yang terbentuk. Kelebihannya ialah proses yang lebih dapat diramalkan, jumlah bahan yang perlu diperbaiki berkurangan, dan kerja penyelenggaraan juga dapat dirancang dengan lebih baik.
Penggunaan tenaga juga dioptimumkan agar proses pemanasan berlaku dengan cepat, tanpa pembaziran tenaga. Ini membolehkan kos operasi dikurangkan tanpa mengorbankan kelajuan proses.
Beberapa panduan praktikal semasa pemasangan
Lampu PVD ini boleh dipasang terus pada platform alat PVD biasa. Namun, anda masih perlu memastikan bahawa lampu tersebut disusun dengan betul berbanding dengan port termal dan saluran penyejukan di dalam bilik tersebut. Proses penalaan parameter PID juga memerlukan sedikit masa. Setelah semuanya disesuaikan, prestasi lampu akan menjadi lebih stabil, dan jarak antara kerja penyelenggaraan juga akan bertambah panjang – ini bermakna masa operasi yang lebih lama, dan kurang keperluan untuk pemantauan berterusan.