晶圆固化灯反射器

在线，光刻胶烘烤的重复性是基线——没有余地。在晶圆上温度漂移几度，你就会打印出0.1 μm的线宽误差，然后在每一层光刻过程中看到它的积累。我们为晶圆固化灯构建的反射器旨在消除这种可变性。它将红外线塑造成一个稳定的亚毫米热场，因此您的软烘烤和硬烘烤在每一批次中都能保持在规范范围内。 技术上重要的事项...