真空腔体红外加热器

防止真空室过热 如果您曾经在真空室内加热晶圆或基片，那么您一定了解其中的不便之处。最麻烦的问题就是热量积聚现象。 普通的红外灯其实只是向各个方向散发能量的灯泡而已。在空间有限的半导体生产环境中，这显然是个问题——真空室的墙壁会吸收掉所有这些多余的能量。很快，真空室的内壁就会过热，进而导致设备变形，...