クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際、加熱というのは単に物を温めるだけの意味ではありません。それは、微粒子との戦いでもあるのです。
問題は、通常の赤外線ランプはかなり汚れやすいということです。初期段階では、ガスが放出されたり、微小な破片が発生したりします。ウエハーや高純度の化学物質を扱う場合、これは大惨事です。たった一つの微小な破片があれば、全体の製品が台無しになってしまいます。
そのため、私たちはUHP（超高純度）の合成石英を使用しています。
なぜ高純度のガラスを使うのか？
高純度の融解シリカを使用することで、金属不純物が処理室に漏れ込むのを防げます。通常の石英は高温になると「結晶化」してしまいますが、UHPガラスはそうなりません。安定しており、ひび割れやスケールも発生しません。つまり、安定した熱供給が可能なのです。
熱に関すること
私たちのUHPランプは、強力な熱を発生させるように設計されています。高出力を狭いチューブを通じて送り込むことで、表面温度を急速に上昇させます。半導体や製薬分野で作業する場合、このような急速な温度上昇が必要です。しかし注意点もあります。筐体がそのような高温に耐えられるかどうかを確認する必要があります。冷却ファンが十分でなければ、ランプのフィラメントが壊れてしまいます。
汚れの除去
私たちは清掃に非常に気を使っています。ランプを密封する前に、油や指紋の痕跡を完全に取り除くための厳格な処理を行います。また、コネクタにもこだわっています。正確な接続を保つために精密な部品を使用しています。なぜかというと、接続が緩むとアークが発生し、金属粒子が飛び出します。これは、ゼロ汚染を目指す上で最悪の状況です。
デメリット
ただし、UHPランプにはデメリットもあります。最も清潔な選択肢ではありますが、一般的な工業用ランプよりも脆弱です。衝撃に弱く、取り扱いには注意が必要です。無繊維の手袋を着用し、石英にわずかな傷がつかないようにしなければなりません。真空状態や高圧下では、そのわずかな傷が原因でランプが破裂してしまう可能性があります。丁寧に扱えば、完璧に機能します。