クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、あなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が飛び散るという問題の深刻さはご存知でしょう。安価なヒーターから出るわずかな破片だけで、シリコンウェーハや医療用インプラントが台無しになってしまいます。本当に厄介です。
そのため、私たちはガスを放出したり剥がれたりするような通常の抵抗式ヒーターの使用をやめました。代わりに、高純度の石英製の赤外線ランプや金メッキされた反射板を使用しています。
なぜ石英なのか？
私たちは合成フューズドクォーツを使用しています。それは非常に優れているからです。極端な温度変化にも耐えられ、何よりも、高温になっても粉々にならないのです。
また、金メッキの反射板についてですが、これは見た目の問題ではありません。効率性の問題です。この反射板は、赤外線の約98％をワークピースに戻します。これにより、機械の内部に熱が漏れることが少なくなり、部屋の温度が安定します。つまり、より効率的に機能するのです。
適切な仕様を選ぶこと
重要なのは、必要な加熱速度と、電圧やワット数のバランスを取ることです。高ワット数の短波長ランプなら、瞬時に目的の温度に到達します。しかし、注意が必要です。電源装置に大きな負荷がかかります。また、長い管を使用する場合は、電圧降下にも注意が必要です。
私は常に高品質のコネクタを推奨します。なぜかというと、真空環境やクリーンな環境ではアーク現象が起こり、金属微粒子が発生してしまいます。これは工程上避けたいものです。
注意すべき点
金メッキの反射板は熱に強いですが、柔らかいので注意が必要です。もしメンテナンス担当者が研磨剤入りのクロスを使って磨こうとしたら、コーティングが傷つき、効率が低下してしまいます。ノンリントの wipesやイソプロピルアルコールを使用しましょう。簡単です。
また、集中した赤外線の熱は非常に強力です。もし材料の融点が低ければ、「設定して放置する」わけにはいきません。迅速なサンプリング速度を持つPIDコントローラーが必要で、そうすれば温度が過剰に上昇するのを防げます。
この精度がなければ、たとえ部屋が完全に清潔でも、基板が焼けてしまう可能性があります。