熱を無駄にしないためのヒント：IR反射器の使い方ガイド
半導体製造に携わったことがある人なら、余分な熱がどれほど厄介かよくわかるでしょう。
計画なしに高出力のIRランプを使用すると、そのエネルギーはウェーハだけでなく、ケースの内壁にも当たり、機械を傷めたり、周囲の人々にとって危険なほどの高温を生み出します。さらに、敏感な部品に悪影響を与え、精度を低下させてしまいます。
解決策はこちらです。
私たちは高純度のアルミニウム製の反射器を使用して、熱をコントロールします。IRランプは基本的に、360度全方位に熱を放出する照明器具です。反射器がなければ、空気や機械自体を温めることになってしまいます。
アルミニウムは、余分なエネルギーを受け止めて前方に向けて反射します。しかし、重要なのは単に熱を受け止めるだけではなく、その熱をどこに向けるかです。放物線状の形状を使えば、集中した強力なビームが得られます。一方、緩やかな弧状の形状を使えば、熱が広がります。要は、エネルギーが正確に目的の場所に届き、機械の壁から離れているように適切な形状を選ぶことです。
なぜアルミニウムか？
アルミニウムは赤外線をよく反射し、また熱を素早く放散します。通常は、材料がエネルギーを吸収しないように、研磨されたり陽極処理された表面を使用します。
注意点として、アルミニウムは熱くなると膨張します。高密度のランプを使用する場合、これらの反射器は大きな温度変化を経験します。そのため、焦点がずれないように、特定の取り付け精度を考慮して設計しています。
メリット
うまく活用すれば、「ホットボックス」は精密なツールに変わります。熱が封じ込められるため、ケースの外側は触っても冷たく保たれます。つまり、大きくて騒音の多い冷却ファンを使う必要がなく、装置全体のサイズを小さくできます。
ただし、位置合わせが非常に重要です。数ミリのずれでも、熱の集中点が変わり、ワークピースに悪影響を与える可能性があります。正確に位置合わせを行えば、問題ありません。